আণবিক মরীচি এপিট্যাক্সি উচ্চ ভ্যাকুয়াম বা অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়ামে (1 x 10⁻⁶) সম্পন্ন করা হয়েছিল।^-8আণবিক রশ্মি এপিট্যাক্সির সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ দিক হলো এর কম জমা হওয়ার হার, যা সাধারণত ফিল্মটিকে প্রতি ঘন্টায় ৩০০০ ন্যানোমিটারেরও কম হারে এপিট্যাক্সিয়ালভাবে বৃদ্ধি পেতে দেয়। এই ধরনের কম জমা হওয়ার হারের জন্য অন্যান্য জমা পদ্ধতির মতো একই স্তরের পরিচ্ছন্নতা অর্জনের জন্য যথেষ্ট উচ্চ ভ্যাকুয়ামের প্রয়োজন হয়।

উপরে বর্ণিত অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়াম পূরণের জন্য, এমবিই ডিভাইসে (নুডসেন সেল) একটি শীতলীকরণ স্তর থাকে এবং একটি তরল নাইট্রোজেন সঞ্চালন ব্যবস্থা ব্যবহার করে গ্রোথ চেম্বারের অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশ অবশ্যই বজায় রাখতে হয়। তরল নাইট্রোজেন ডিভাইসটির অভ্যন্তরীণ তাপমাত্রা ৭৭ কেলভিন (−১৯৬ °C) পর্যন্ত শীতল করে। এই নিম্ন তাপমাত্রার পরিবেশ ভ্যাকুয়ামের মধ্যে থাকা অপদ্রব্যের পরিমাণ আরও কমাতে পারে এবং পাতলা ফিল্মের জমাট বাঁধার জন্য আরও ভালো পরিস্থিতি তৈরি করে। অতএব, এমবিই সরঞ্জামের জন্য একটি বিশেষ তরল নাইট্রোজেন শীতলীকরণ সঞ্চালন ব্যবস্থা প্রয়োজন, যা -১৯৬ °C তাপমাত্রার তরল নাইট্রোজেনের একটি অবিচ্ছিন্ন এবং স্থিতিশীল সরবরাহ নিশ্চিত করবে।