আণবিক মরীচি এপিট্যাক্সিটি একটি উচ্চ ভ্যাকুয়াম বা অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়ামে (1 x 10) চালিত হয়েছিল^-8পা) পরিবেশ। আণবিক মরীচি এপিট্যাক্সির সর্বাধিক গুরুত্বপূর্ণ দিকটি হ'ল এর কম জমার হার, যা সাধারণত ফিল্মটিকে প্রতি ঘন্টা 3000 এনএম এরও কম হারে এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি করতে দেয়। এই জাতীয় কম জমার হারের জন্য অন্যান্য জমার পদ্ধতির মতো একই স্তরের পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা অর্জনের জন্য একটি উচ্চ পর্যাপ্ত ভ্যাকুয়াম প্রয়োজন।

উপরে বর্ণিত অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়ামটি পূরণ করতে, এমবিই ডিভাইস （নুডসেন সেল） একটি শীতল স্তর রয়েছে এবং গ্রোথ চেম্বারের অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশটি তরল নাইট্রোজেন সঞ্চালন সিস্টেম ব্যবহার করে বজায় রাখতে হবে। তরল নাইট্রোজেন ডিভাইসের অভ্যন্তরীণ তাপমাত্রাকে 77 কেলভিন (−196 ° C) এ শীতল করে। নিম্ন তাপমাত্রার পরিবেশটি ভ্যাকুয়ামে অমেধ্যগুলির সামগ্রীকে আরও হ্রাস করতে পারে এবং পাতলা ছায়াছবি জমা করার জন্য আরও ভাল শর্ত সরবরাহ করতে পারে। অতএব, এমবিই সরঞ্জামগুলির জন্য -196 ° C তরল নাইট্রোজেনের অবিচ্ছিন্ন এবং অবিচ্ছিন্ন সরবরাহ সরবরাহ করার জন্য একটি উত্সর্গীকৃত তরল নাইট্রোজেন কুলিং সার্কুলেশন সিস্টেমের প্রয়োজন।